Picosuns PicoArmourTM senkt die Herstellungskosten für Halbleiter
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ESPOO, Finnland, 2. Juni 2021 / PRNewswire / – Die Picosun-Gruppe hat zum Patent angemeldete Rechte für eine ALD-aktivierte Korrosionsschutzlösung gegen Plasmaätzen, die Halbleiterfertigungsprozesse in Bezug auf Durchsatz, Schichtgleichmäßigkeit und Konformität verbessern wird. Mit PicoArmourMT Korrosionsschutz kann im Vergleich zu heute üblichen industriellen Lösungen effektiver erreicht werden.
Die Prozessabläufe der Waferherstellung umfassen mehrere Schritte, bei denen Plasmaätzen erforderlich ist. Eine unvermeidliche Folge der Verwendung von Ätzchemikalien ist, dass das Werkzeug selbst geätzt wird. Eine gängige industrielle Lösung zur Reduzierung von Werkzeugschäden ist das Aufbringen einer korrosionsbeständigen Beschichtung auf das Gravierwerkzeug, beispielsweise durch PVD-Beschichtung oder Sprühbeschichtung mit Y2Ö3. Im Vergleich zur ausschließlichen Verwendung von Y2Ö3, PicoRüstungMT ermöglicht eine bis zu fünfmal schnellere und kostengünstigere Herstellung der Beschichtung. Im Vergleich zu Al2Ö3, kann die Beschichtung fünfmal haltbarer sein.* Außerdem kann das Wartungsintervall von Gravierwerkzeugen verlängert werden, was ebenfalls zu einer deutlichen Reduzierung der Herstellungskosten führt.
“Picosuns Ansatz mit PicoArmourMT ist es, das Y hochresistent gegen Angriffe zu kombinieren2Ö3 ALD-Prozesse mit robusteren ALD-Prozessen. Eine leistungsstarke ALD-Korrosionsbarriere, die die Geschwindigkeit und den Komfort von Al . kombiniert2Ö3 Prozess mit Nachhaltigkeit von Y2Ö3 kann durch sorgfältige Kontrolle der Zusammensetzung des Films erreicht werden. Mit ALD kann die Schutzwirkung mit dünneren Folien erreicht werden, was wiederum zu Materialeinsparungen und einem umweltfreundlicheren Prozess führt“, sagt Juhana kostamo, Vizepräsident des Sektors Industrietätigkeit der Picosun-Gruppe.
Um mehr über PicoArmour zu erfahrenMT und einer Studie, die Picosun über Schutzbeschichtungen gegen Plasmaschäden durchgeführt hat, nehmen Sie an der Picosun-Konferenz auf der virtuellen Konferenz ALD 2021 am . teil 29. Juni beim 10:25 Uhr EDT. hier registrieren.
* Werte abhängig von Ablagerungs- und Brennparametern
Picosun bietet das fortschrittlichste AGILE ALD® (Atomic Layer Deposition) Dünnschichtbeschichtungslösungen für globale Industrien. Die ALD-Lösungen von Picosun ermöglichen einen Technologiesprung in die Zukunft mit schlüsselfertigen Produktionsprozessen und zukunftsweisender und unübertroffener Expertise auf diesem Gebiet, die bis zur Erfindung der Technologie selbst zurückreicht. Heute, PICOSUN® ALD-Geräte werden täglich in vielen High-Tech-Branchen auf der ganzen Welt eingesetzt. Picosun hat seinen Sitz in Finnland, mit Tochtergesellschaften in Deutschland, Vereinigte Staaten, Singapur, Japan, Südkorea, China Kontinent und Taiwan, Büros in Indien und Frankreich, sowie ein globales Vertriebs- und Support-Netzwerk. Besuch www.picosun.com.
Mehr Informationen:
Juhana kostamo
Vizepräsident, Sektor Industrietätigkeit, Picosun-Gruppe
Telefon. : +358 50 369 9565
Email: [email protected]
www.picosun.com
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